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[会议论文] 作者：韦敏;李杰;邓雪然;邓宏;,
来源：四川省电子学会传感技术第11届学术年会 年份：2009
在硅衬底上磁控溅射制备 AlxZn1-xO(AZO)合金薄膜,在其上真空蒸发Ni/Au叉指电极获得MSM结构光电探测器。AZO合金薄膜对紫外和可见光有高于80％的透过率,随Al含量增加,光学吸收...
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