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[期刊论文] 作者:吴元伟,韩传余,赵玲利,王守国,,
来源:微纳电子技术 年份:2011
介绍了三类常见的低k介质材料,并对空气隙(k=1)的发展进行了探讨;讨论了引起等离子体损伤的机理和传统的O2等离子体去胶工艺面临的困难;最后综述了近年来国际上提出的低损伤...
[期刊论文] 作者:王欢,王常,吴海洋,李昕,刘卫华,韩传余,王小力,
来源:西安交通大学学报 年份:2020
为了进一步提高基于石墨烯的气敏传感器对NH3的传感性能,采用第一性原理方法,研究了NH3与不同结构扶手椅型石墨烯纳米带(AGNR)的相互作用,通过计算吸附能、电荷转移和灵敏度,...
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