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[期刊论文] 作者：顾永田,程虎,李泽,
来源：科技创新导报 年份：2018
摘要：我公司显影机台多采用PUDDLE方式进行显影,显影液的供液方式为氮气加压,在氮气加压罐里会不可避免的有气体与显影液混合,在显影液从喷嘴喷出的时候,会有气体析出,在晶圆...
[期刊论文] 作者：顾永田 程虎 李泽,
来源：中国科技博览 年份：2019
[摘 要]本文介绍了涂胶显影机的基本工艺流程，包括涂底胶、烘烤、冷板等工艺流程，在实际应用中，大部分都是基本流程的变异或者选项。 [关键词]涂胶显影机、工艺、烘烤、冷板 中图分类号：TN305 文献标识码：A 文章编号：1009-914X（2019）07-0096-04 1 引言 光刻......
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