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[期刊论文] 作者：马大衍,
来源：材料研究学报 年份：2004
用直流等离子体增强化学气相沉积(PCVD)方法在不锈钢基体上制备了Ti-Si-N硬质纳米复合薄膜,研究了Si含量对薄膜硬度的影响及高温退火对薄膜晶粒尺寸及其硬度的影响.结果表明:...
[期刊论文] 作者：马大衍,
来源：中国有色金属学报 年份：2004
用反应磁控溅射方法,在不锈钢表面沉积Ti-Si-N薄膜.用原子力显微镜观察薄膜的表面形貌,Ti-Si-N颗粒尺寸小于0.1 μm,用亚微压入仪测试薄膜硬度,当硅的摩尔分数为9.6%时,薄膜...
[期刊论文] 作者：马大衍,
来源：金属学报 年份：2004
用直流等离子体增强化学气相沉积设备在不锈钢表面沉积纳米晶TiN和纳米非晶Si3N4复相薄膜.主要研究了氧元素对薄膜硬度的影响.结果表明,薄膜中极其微量的氧含量就会使nc-TiN+...
[期刊论文] 作者：赵盼,马大衍,,
来源：稀有金属材料与工程 年份：2017
通过固-液-气(VLS)生长机制,利用化学气相沉积法(CVD)制备SnO_2纳米线。利用原子层沉积(ALD)以钛酸四异丙酯为前驱体在SnO_2纳米线表面沉积不同厚度的TiO_2壳层,形成SnO_2@Ti...
[会议论文] 作者：赵盼,马大衍,
来源：中国真空学会2016学术年会 年份：2016
1972 年Fujishima 和Honda[1]首先报道了利用TiO2 作为光催化剂分解水制备H2,发现了半导体的“本多-藤岛效应”,从此开辟了对半导体光催化领域的研究.TiO2 作为一种典型的金属氧化物半导体材料由于其光催化性质优异,化学性质稳定,安全无毒,成本低等优点已经被批......
[期刊论文] 作者：马大衍,马胜利,徐可为,
来源：中国表面工程 年份：2004
分别用磁控溅射、脉冲直流和射频等离子体辅助化学气相沉积(PCVD)技术得到了TiN、Ti-Si-N、Ti-B-N及Ti-C-N纳米复合超硬薄膜.用球盘式摩擦磨损试验考察了各种薄膜的磨损特性....
[期刊论文] 作者：黄剑,马大衍,徐可为,
来源：稀有金属材料与工程 年份：2015
半导体纳米线作为一种潜在的表面增强拉曼光谱（SERS）基底材料正受到广泛的关注。本文采用金作为催化剂,通过等离子体增强化学气相沉积系统,以气-液-固生长机制制备一种直径可控......
[会议论文] 作者：马大衍,马胜利,徐可为,
来源：第二届表面工程技术产业化学术交流会 年份：2002
本文简要介绍了脉冲直流PCVD的成膜特点,并举例说明了脉冲PCVD在模具中的应用情况,经表面强化后的模具其韧性、耐磨性及抗热疲劳性能均有显著提高....
[期刊论文] 作者：黄剑,马大衍,徐可为,,
来源：稀有金属材料与工程 年份：2015
半导体纳米线作为一种潜在的表面增强拉曼光谱(SERS)基底材料正受到广泛的关注。本文采用金作为催化剂,通过等离子体增强化学气相沉积系统,以气-液-固生长机制制备一种直径可...
[会议论文] 作者：黄剑,马大衍,徐可为,
来源：中国真空学会2014年年会 年份：2014
通过氧化还原反应在不同的银离子溶液、氢氟酸溶液中制备出了硅基银枝晶纳米材料，采用X 射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱仪(Raman spectroscopy)分别对样品的结构、微观形貌以及表面增强拉曼光谱性能(SERS)进行了表征。结果表明，随着溶液中银离子......
[期刊论文] 作者：马大衍,马胜利,徐可为,S.Veprek,
来源：金属学报 年份：2004
用直流等离子体增强化学气相沉积设备在不锈钢表面沉积纳米晶TiN和纳米非晶Si3N4复相薄膜.主要研究了氧元素对薄膜硬度的影响.结果表明,薄膜中极其微量的氧含量就会使nc-TiN+...
[期刊论文] 作者：马大衍,马胜利,徐可为,S.Veprek,
来源：材料研究学报 年份：2004
用直流等离子体增强化学气相沉积(PCVD)方法在不锈钢基体上制备了Ti-Si-N硬质纳米复合薄膜,研究了Si含量对薄膜硬度的影响及高温退火对薄膜晶粒尺寸及其硬度的影响.结果表明:...
[期刊论文] 作者：马大衍,马胜利,徐可为,S.Veprek,
来源：中国有色金属学报 年份：2004
用反应磁控溅射方法,在不锈钢表面沉积Ti-Si-N薄膜.用原子力显微镜观察薄膜的表面形貌,Ti-Si-N颗粒尺寸小于0.1 μm,用亚微压入仪测试薄膜硬度,当硅的摩尔分数为9.6%时,薄膜...
[期刊论文] 作者：聂祥龙,马大衍,徐可为,,
来源：稀有金属材料与工程 年份：2015
采用原子层沉积(ALD)的方法,选择四二乙基氨基铪(TDEAH)和水作为反应前驱体,在p型(100)单晶硅衬底上制备了HfO_2高介电质薄膜。系统研究了前驱体流量、反应气压、反应温度等...
[会议论文] 作者：刘帅, 马大衍, 马飞, 徐可为,,
来源： 年份：2004
碲化铋是一种具有窄禁带、低导热等特性,且在低温或常温下具有较高优值的热电材料,在热电制冷及余热利用方面有着巨大的应用价值。碲化铋薄膜材料由于其较低的制备成本和便捷...
[期刊论文] 作者：马大衍,王昕,马胜利,徐可为,
来源：金属学报 年份：2003
用工业型脉冲直流等离子体增强化学气相沉积(PCVD)设备,在高速钢(W18Cr4V)表面沉积Ti-Si-N三元薄膜,研究了不同N2流量对薄膜组织及性能的影响.结果表明:随N2流量增大,膜层沉...
[期刊论文] 作者：马大衍,马胜利,徐可为,S.,Veprek,
来源：纳米科技 年份：2004
该文分别用直流、脉冲直流和微波等离子体辅助化学气相沉积(PCVD)技术得到了Ti—si—N、Ti—B—N及Ti—Al—si—N纳米复合超硬薄膜,结合微观分析和宏观性能表征,给出了它们的...
[期刊论文] 作者：徐建华,马大衍,马胜利,徐可为,
来源：稀有金属材料与工程 年份：2005
用脉冲直流等离子体增强化学气相沉积(PCVD)方法在高速钢(HSS)基体上制备了Ti-Si-N薄膜,重点从不同温度退火后薄膜相结构、晶粒尺寸和显微硬度的变化等方面,探讨了不同Si含量...
[期刊论文] 作者：王昕,马大衍,马胜利,徐可为,
来源：稀有金属材料与工程 年份：2004
用工业型脉冲直流等离子体化学气相沉积(PCVD)设备,针对不同混合气体CH4所占比例,在H13模具钢表面沉积了Ti(C,N)薄膜.用SEM观察薄膜断口形貌,用XRD及XPS分析薄膜相组成和价态...
[期刊论文] 作者：马大衍,王昕,马胜利,徐可为,
来源：稀有金属材料与工程 年份：2004
用工业型脉冲等离子体增强化学气相沉积设备,在550℃的高速钢基材表面沉积由纳米晶TiN,纳米非晶Si3N4以及纳米或非晶TiSi2组成的复相薄膜.通过改变氯化物混合比例调节薄膜的...
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