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[学位论文] 作者:马姣民,
来源: 年份:2011
本文利用射频磁控溅射(RF sputtering)技术,通过调制氧氩比(OFR= [O2]/[Ar]).衬底温度(T)和溅射功率(P)在玻璃衬底上制备了一系列单相Ag2O薄膜,并重点研究了不同工艺参数对Ag2O薄膜的微结构和光学性质的影响。利用X射线衍射谱和扫描电子显微镜对薄膜的微结构和......
[期刊论文] 作者:马姣民,梁艳,郜小勇,,
来源:真空科学与技术学报 年份:2011
利用射频磁控溅射技术,通过调节溅射功率(P)在200℃、氧氩比为2∶3条件下在玻璃衬底上制备了一系列氧化银(Ag2O)薄膜。利用X射线衍射谱和扫描电子显微镜重点研究了P对Ag2O薄...
Spectroscopic ellipsometric study of the optical properties of Ag_2O film prepared by direct-current
[期刊论文] 作者:郜小勇,冯红亮,马姣民,张增院,,
来源:Chinese Physics B 年份:2004
The Ag2O film, as-deposited by direct-current magnetron reactive sputtering at a substrate temperature of 150℃, clearly shows a preferential orientation (111),...
[期刊论文] 作者:冯红亮,梁艳,郜小勇,张增院,马姣民,,
来源:真空 年份:2010
利用直流反应磁控溅射技术,在玻璃衬底上制备了氧化银薄膜.X射线衍射和扫描电子显微镜表明制备的氧化银薄膜主要由Ag和Ag2O组成,具有疏松、多孔的表面特征.制备的氧化银薄膜...
[期刊论文] 作者:张增院,郜小勇,冯红亮,马姣民,卢景霄,,
来源:物理学报 年份:2011
利用直流磁控反应溅射技术在玻璃衬底上沉积了单相Ag2O薄膜,并采用真空热退火对单相Ag2O薄膜在不同热退火温度(TA)下进行了1h热处理.利用X射线衍射谱、扫描电子显微镜和分光...
[期刊论文] 作者:马姣民,梁艳,郜小勇,陈超,赵孟珂,卢景霄,,
来源:物理学报 年份:2012
Ag_2O薄膜在新型超高存储密度光盘和磁光盘方面具有潜在的应用前景.利用射频磁控反应溅射技术,通过调节衬底温度在沉积气压为0.2 Pa、氧氩比为2:3的条件下制备了一系列Ag_2O...
[期刊论文] 作者:张增院,郜小勇,冯红亮,马姣民,卢景霄,,
来源:物理学报 年份:2011
利用直流磁控反应溅射技术,通过调节反应气压(RP),在250℃衬底温度下制备了一系列氧化银(AgxO)薄膜,并利用X射线衍射谱、能量色散谱和分光光度计重点研究了RP对AgxO薄膜的结...
Effects of the sputtering power on the crystalline structure and optical properties of the silver ox
[期刊论文] 作者:郜小勇,张增院,马姣民,卢景霄,谷锦华,杨仕娥,,
来源:Chinese Physics B 年份:2011
This paper reports that a series of silver oxide (Ag x O) films are deposited on glass substrates by direct-current reactive magnetron sputtering at a substrate...
[期刊论文] 作者:陈超,冀勇,郜小勇,赵孟珂,马姣民,张增院,卢景霄,,
来源:物理学报 年份:2012
采用直流脉冲磁控反应溅射技术,在不同氧氩比(GFR)条件下玻璃衬底上制备了一系列掺铝氧化锌(AZO)薄膜,并利用X射线衍射、扫描电子显微镜和分光光度计从宏观应力和微观晶格畸...
[期刊论文] 作者:冯红亮, 粱艳, 郜小勇, 林清耿, 张增院, 马姣民, 卢景霄,
来源:真空科学与技术学报 年份:2010
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[期刊论文] 作者:冯红亮,粱艳,郜小勇,林清耿,张增院,马姣民,卢景霄,宁皓,,
来源:真空科学与技术学报 年份:2010
保持150%的衬底温度不变,通过调节氧氩比(OFR=[O2]/[Ar]),利用直流反应磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了一系列氧化银薄膜。利用X射线衍射谱、扫描电子显微镜和分光光度计重点研究了......
Effect of substrate temperature on microstructure and optical properties of single-phased Ag_2O film
[期刊论文] 作者:马姣民,梁艳,郜小勇,张增院,陈超,赵孟珂,杨仕娥,谷锦华,陈永生,卢景霄,,
来源:Chinese Physics B 年份:2011
Using a radio-frequency reactive magnetron sputtering technique,a series of the single-phased Ag2O films are deposited in a mixture of oxygen and argon gas with...
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