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[期刊论文] 作者：马智康,,
来源：小学生时空 年份：2004
暑假,我们家去上海旅游。在上海,我看到了在乌鲁木齐看不到的景色。与乌鲁木齐不同的是,上海除了社区,所有的小商铺挂的全是霓虹灯。晚上东方明珠塔和高楼大厦都成为晶莹的建...
[期刊论文] 作者：马智康,刘国文,李兆涵,刘福民,徐宇新,
来源：飞控与探测 年份：2021
面外轴向检测微机电系统(MEMS)加速度计(Z轴MEMS加速度计)是MEMS惯性系统中用于提供面外加速度信号的重要器件.首先介绍了Z轴加速度计的两种典型结构,列举了国内外科研机构近年来的研究成果,概述了其在结构设计、工艺制造等方面的特点,以及在性能指标、三轴单片......
[期刊论文] 作者：马智康,赵亭杰,刘国文,李兆涵,刘宇,徐宇新,
来源：传感器与微系统 年份：2021
提出一种“三明治”电容式检测原理的闭环微机电加速度计敏感结构,并对该敏感结构基础电容及微机电加速度计量程、标度因数等主要指标进行了设计,通过模态仿真验证了该结构参...
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