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[学位论文] 作者:高继博,
来源:兰州理工大学 年份:2023
近年来,现代科学技术的高速发展对光学元器件的表面粗糙度、面形精度的要求不断提高,抛光工艺是得到超光滑表面的有效加工方法之一。然而传统抛光工艺在加工过程中易产生亚表面损伤层,且材料去除不易控制,并不满足高精度零件的需求。因此,多学科互补融合的超精......
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