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[期刊论文] 作者:聂君兰,谷坤明,汤皎宁,麦达宇,樊璠,
来源:稀有金属与硬质合金 年份:2008
介绍了一种新型的DLC膜制备方法——ECR(电子回旋共振)微波等离子体气相沉积结合磁控溅射的方法。采用该法通过溅射石墨靶和金属钛靶在不锈钢基底上制备了具有Ti/TiN/TiN(N,C...
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