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[期刊论文] 作者：黄一祥,曾周末,靳世久,黄四萍,,
来源：现代科学仪器 年份：2009
提出了一种基于高精度质量流量控制器的动态配气方案,并给出了系统操作时序流程图。着重阐述配制标准气体原理、配气过程中的不确定度及其改善措施。针对气体流量控制的时变...
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