搜索筛选:
搜索耗时0.0378秒,为你在为你在35,702,000篇论文里面共找到 1 篇相符的论文内容
类      型:
[学位论文] 作者:黄立凝,, 来源:复旦大学 年份:2010
随着集成电路进入深亚微米及其以下时代,线宽尺寸不断减小,接触和互连已经成为增加电路延迟时间,影响系统集成度和稳定性的重要因素。硅化钴作为器件和金属连线的连接层,起到...
相关搜索: