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[期刊论文] 作者：单睿, 齐通通, 黎秉哲, 郭杰, 袁俊,,
来源：功能材料 年份：2018
非蒸散型吸气剂薄膜是超高或极超高真空系统获得和维持真空条件的重要材料,近年来吸气剂广泛应用于MEMS真空封装领域。综述了非蒸散型吸气剂的材料体系、研究现状和工程应用,...
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