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[期刊论文] 作者：崔铮,Ｄ．Ｐｒｅｗｅｔｔ,
来源：光电工程 年份：1997
报道了用光致抗蚀剂作牺牲层材料制作可动微机械结构的一种新技术。用这种技术制作可动微机械，动件和固定件同时制作。要求的掩模数减到最少。同现有的牺牲层材料相比，光致抗蚀......
[期刊论文] 作者：周明宝,崔铮,Ｄ．Ｐｒｅｗｅｔｔ,
来源：光电工程 年份：1997
报道了用氟利昂ＣＨＦ３和氩气Ａｒ作工作气体的反应离子刻蚀融石英的技术，研究了气体流速、腔压和射频等离子体功率对刻蚀速度的影响，并分析了刻蚀工艺对样品表面的污染，同时也考察了刻蚀工......
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