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[期刊论文] 作者：AOKI J, 高伟, KIYONO S, OCHI T,,
来源：纳米技术与精密工程 年份：2005
提出了一种高精度、大行程的原子力显微镜探针结构,可用于测量大面积的微观结构表面.该探针结构包括一个硅悬臂梁和一个环形的预压型电(PZT)执行器,执行器沿Z轴的行程为70μm...
[期刊论文] 作者：AOKI J,高伟,KIYONO S,OCHI T,SUGI,
来源：纳米技术与精密工程 年份：2005
提出了一种高精度、大行程的原子力显微镜探针结构,可用于测量大面积的微观结构表面.该探针结构包括一个硅悬臂梁和一个环形的预压型电(PZT)执行器,执行器沿Z轴的行程为70μm...
[期刊论文] 作者：AOKI J,高伟,KIYONO S,OCHI T,SUGIMOTO T,
来源：纳米技术与精密工程 年份：2005
提出了一种高精度、大行程的原子力显微镜探针结构,可用于测量大面积的微观结构表面.该探针结构包括一个硅悬臂梁和一个环形的预压型压电(PZT)执行器,执行器沿Z轴的行程为70...
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