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[期刊论文] 作者:兰昊,陈广超,戴风伟,李彬,唐伟忠,李成明,宋建华,Aska, 来源:金刚石与磨料磨具工程 年份:2004
利用大功率DC Arc Plasma Jet CVD装置,采用Ar-H2-CH4混合气体为气源,通过优化工艺参数,在多晶钼衬底上制备出了多层复合金刚石自支撑膜.利用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)...
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