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[期刊论文] 作者：Benedetto Vigna,,
来源：中国集成电路 年份：2002
作为新世纪一项最伟大的技术,硅微电子机械系统(MEMS)技术最终证明了其多用性已超乎了大多数人的想象,超出了在多元化市场发挥各种作用的简单的传感器。无论是现有的还是开发...
[期刊论文] 作者：Benedetto Vigna,
来源：中国电子商情：基础电子 年份：2010
意法半导体公司推出一系列惯性传感器,让意法半导体迅速扩大了在消费电子MEMS传感器市场的份额。公司在MEMS技术特性上实现了更小尺寸、更低价格、更高性能、更多功能与更具...
[会议论文] 作者：BENEDETTO VIGNA,
来源：2012传感器与MEMS技术产业化国际研讨会 年份：2012
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