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[期刊论文] 作者:Chiv.,TC,周振杰, 来源:国外透平 年份:1989
[期刊论文] 作者:Chiv.,DJ,许春高, 来源:微细加工技术 年份:1992
弗里曼离子源至今已有30多年的历史,仍然是适用面最广、用得最多的一种离子源。由于它能够对大多数元素产生聚焦得很小、束流达毫安级的离子束,而且具有较宽的能量范围,因而...
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