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[期刊论文] 作者：Christoph Germer, Ulli Hansen,,
来源：工程设计学报 年份：2004
微机构和微系统设计需要综合应用许多不同的制造工艺,因而是非常复杂的.介绍了用于计算机辅助微技术设计的系统,它综合工艺描述工具,并将其输出存储在全程数据模型中....
[期刊论文] 作者：Christoph Germer,Ulli Hansen,H,
来源：工程设计学报 年份：2003
微机构和微系统设计需要综合应用许多不同的制造工艺,因而是非常复杂的.介绍了用于计算机辅助微技术设计的系统,它综合工艺描述工具,并将其输出存储在全程数据模型中....
[期刊论文] 作者：Christoph Germer,Ulli Hansen,Hans-Jochamin Franke,Stephanus Büttgenbach,桂贵生,刘全坤,,
来源：工程设计学报 年份：2003
微机构和微系统设计需要综合应用许多不同的制造工艺,因而是非常复杂的.介绍了用于计算机辅助微技术设计的系统,它综合工艺描述工具,并将其输出存储在全程数据模型中....
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