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[会议论文] 作者:Juan Li,Chunjian Yin,Shaozhen Xiong,
来源:2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会 年份:2013
提出一种采用背面保温层的2倍频YAG激光晶化多晶硅技术.采用此技术后,晶化后的多晶硅薄膜的晶粒尺寸与霍耳迁移率都提高了将近一倍.此技术具有两种效应:保温效应和自加热效应...
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