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,Substrate Dependence of Properties of Sputtered ITO Films
[期刊论文] 作者：GAO Mei-Zhen,SHI Hui-Gang,Job R.,LI Fa-Shen,Fahrner W. R., 来源：中国物理快报（英文版） 年份：2005
High-quality indium-tin-oxide (ITO) films are deposited on p-type Czochralski silicon and 7059 Coing glass by direct-current magnetron sputtering at various tem...
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