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[期刊论文] 作者：邱清泉, 励庆孚, 苏静静, Finley Jim,,
来源：真空科学与技术学报 年份：2004
为了分析磁场、阴极电压、气压和靶基板间距等工作参数对沉积速率的影响,本文对磁控放电过程和沉积过程进行了讨论,并着重对沉积速率计算的无碰撞模型和碰撞模型进行了研究。...
[期刊论文] 作者：邱清泉,励庆孚,苏静静,Finley Jim,Jiao Yu,
来源：真空科学与技术学报 年份：2004
为了分析磁场、阴极电压、气压和靶基板间距等工作参数对沉积速率的影响,本文对磁控放电过程和沉积过程进行了讨论,并着重对沉积速率计算的无碰撞模型和碰撞模型进行了研究....
[期刊论文] 作者：邱清泉,励庆孚,苏静静,JIAO Yu,Finley Jim,
来源：核聚变与等离子体物理 年份：2004
基于OOPIC软件,对平面直流磁控溅射放电等离子体进行了二维自洽粒子模拟,重点研究了磁场、阴极电势和气压等工作参数对磁控放电特性的影响.模拟发现,在一定的工作参数范围内,...
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