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[会议论文] 作者：S.Q.Jiang,G.Wang,Z.H.Wang,Z.H.Zhou,X.X.Ma,G Z.Tang,
来源：The 11th International Workshop on Plasma-Based Ion Implanta 年份：2011
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[会议论文] 作者：S.Q.Jiang,X.X.Ma,G.Wang,G Z.Tang,Z.H.Wang,Z.H.Zhou,
来源：The 11th International Workshop on Plasma-Based Ion Implanta 年份：2011
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