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[期刊论文] 作者：YuLIANG,Ling-YanLIANG,Wei-HuaWU,YuPEI,Zhi-QiangYAO,Hong-TaoCAO,,,,,,,
来源：无机材料学报 年份：2019
可以图形化和沉积同时进行的镀膜技术可有效简化器件制备流程, 从而降低成本。本工作研究了一种新型的图形化沉积镀膜技术-微流控法: 将宽度及间隔均为80 μm、沟槽深度为2 μm左右的PDMS模板与衬底贴合构筑微流通道, 毛细力作用下前驱液可在微流通道内流动, 并......
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