搜索筛选:
搜索耗时0.0514秒,为你在为你在26,897,000篇论文里面共找到 1 篇相符的论文内容
发布年度:
[期刊论文] 作者：Cary Ching,Harry Whitesell,Shankar,Venkataraman,,
来源：集成电路应用 年份：2008
采用臭氧/正硅酸乙酯(O3/TEOS)基前驱物,通过次大气压化学气相沉积(SACVD)在深宽比高于8:1的STI和深宽比高于6:1的PMD应用中展现了优异的填充性能,并提高了器件的驱动电流,改...
相关搜索：
