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辉光放电对负偏压增强热丝化学气相沉积碳纳米管的准直生长作用研究
[期刊论文] 作者：王必本, Lee Soonil, Kim Junghoi,, 来源：人工晶体学报 年份：2004
利用负偏压增强热丝化学气相沉积在不同的负偏压和压强下,在沉积有不同厚度NiFe膜的Si衬底上制备了碳纳米管,并用扫描电子显微镜研究了它们的生长.发现在无辉光放电的情况下,...
辉光放电对负偏压增强热丝化学气相沉积碳纳米管的准直生长作用研究
[期刊论文] 作者：王必本,Lee Soonil,Kim Junghoi,侯碧辉, 来源：人工晶体学报 年份：2004
利用负偏压增强热丝化学气相沉积在不同的负偏压和压强下,在沉积有不同厚度NiFe膜的Si衬底上制备了碳纳米管,并用扫描电子显微镜研究了它们的生长.发现在无辉光放电的情况下,...
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