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[期刊论文] 作者：Ying Xu,P.D.Atherton,M.McConnell,T.R.Hicks,雍玲,
来源：国防科技参考 年份：1997
最近,Queensgate仪器有限公司研制出一系列超精定位机械,它们将Queensgate的压电及纳米级传感器技术融合为具有亚纳米级定位精度能力的多轴定位控制器。在这篇论文中,将介绍...
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