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[期刊论文] 作者：M.Racanelli K.Schuergraf 等,
来源：电子产品世界 年份：2002
引言光通信系统中数据传输率的持续提升要求能处理接近 ２００ＧＨｚＦｔ/Ｆｍａｘ的更高效能工艺技术,虽然似乎可以通过将目前ＳｉＧｅ工艺技术的垂直成形处理方法加以扩展以达到２００ＧＨｚ的最高Ｆｔ值,但是要同时得到......
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