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[期刊论文] 作者：C.Brubaker,M.Wimplinger,P.Keen,
来源：电子工业专用设备 年份：2005
讨论喷雾式涂胶(Spray oating)的多种新应用。在表面形貌起伏很大的表面均匀的涂布光刻胶是一项非常有挑战性的工作．喷雾式涂胶正是为了满足这个挑战而开发的。实践证明．与传统...
[期刊论文] 作者：R.Pelzer,H.Luesebrink,H.Kirchberger,M.Wimplinger,P.Kettner,A.Malzer,张平,,
来源：电子工业专用设备 年份：2004
在过去的几年中人们已经有几次预言由于受到物理限制单个晶片的尺寸不可能再缩小,但实际上芯片的尺寸还一直在缩小中.国际半导体技术蓝图(ITRS)预言在未来的10年中DRAM的密度...
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