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[期刊论文] 作者：石永敬,潘复生,鲍明东,潘虎成,Muhammad RASHA,
来源：中国有色金属学报（英文版） 年份：2014
采用反应非平衡磁控溅射技术在青铜及Si(100)衬底上沉积不同负偏压(Vb)的纳米ZrNbAlN薄膜。薄膜结构及成分采用X射线光电子能谱及X射线衍射进行表征。结果表明，Zr和Nb的原子浓...
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