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,An a-C:F:H Film with High Thermal Stability by Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Depositi
[期刊论文] 作者：XIN Yu(辛煜),XU Sheng-Hua(许圣华),NING Zhao-Yuan(宁兆元),LU Xin-Hua(陆新华),JIANG Mei-Fu(江美福),HUANG Song(黄松),DU,
来源：中国物理快报（英文版） 年份：
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