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[期刊论文] 作者:R. C. Longsworth,曾凡永,, 来源:真空与低温 年份:1983
前言采用闭循环低温致冷机冷却的小型低温泵曾在1977年介绍过,它已广泛地应应用于半导体工业以及需要小型而清洁的高真空泵的研究部门中。目前,最常用的低温泵的抽气口径约...
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