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[期刊论文] 作者:田修波,杨士勤,Ricky K Y Fu,Paul K Ch, 来源:核技术 年份:2006
等离子体浸没离子注入是一种新形式的离子注入技术,是利用负偏压工件周围形成的等离子体鞘层进行离子加速、进而获得离子注入.等离子体注入的前提条件是工件导电,因此对于绝...
[期刊论文] 作者:田修波,杨士勤,Ricky K Y Fu,Paul K Chu,, 来源:核技术 年份:2004
等离子体浸没离子注入是一种新形式的离子注入技术,是利用负偏压工件周围形成的等离子体鞘层进行离子加速、进而获得离子注入.等离子体注入的前提条件是工件导电,因此对于绝...
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