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[期刊论文] 作者：林小东,SONG Xu-ding,傅高升,
来源：中国表面工程 年份：2004
采用Ti靶电弧离子镀与Al靶中频磁控溅射相结合的复合工艺,分别在单晶硅抛光面和高速钢抛光面两种基体上成功地制备了TiAlN薄膜样品.电子扫描电镜(SEM)、能谱和X射线衍射(XRD)...
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