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磷掺杂类金刚石薄膜的制备与性能研究

[期刊论文] 作者：王进, Sunny C.H.Kwok, 陈俊英, 杨萍, 黄, 来源：真空科学与技术学报年份：2005

应用等离子体浸没离子注入与沉积方法合成了磷掺杂的类金刚石(P doped diamond like carbon,P-doped DLC)薄膜.结构分析表明磷以微米级岛状结构分散于DLC薄膜表层,P的掺杂增...

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磷掺杂类金刚石薄膜的制备与性能研究

[期刊论文] 作者：王进,Sunny C.H.Kwok,陈俊英,杨萍,黄楠,P.K.Chu, 来源：真空科学与技术学报年份：2005

应用等离子体浸没离子注入与沉积方法合成了磷掺杂的类金刚石(P doped diamond like carbon,P-aopea DLC)薄膜。结构分析表明磷以微米级岛状结构分散于DLC薄膜表层,P的掺杂增...

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