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,Two-dimensional temperature distribution inside a hemispherical bowl-shaped target for plasma sourc
[期刊论文] 作者：Liu Cheng-Sen(刘成森),Wang Yan-Hui(王艳辉),Wang De-Zhen(王德真),
来源：中国物理（英文版） 年份：2005
One important parameter for the plasma source ion implantation (PSII) process is the target temperature obtained during the surface modification. Because the po...
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