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[期刊论文] 作者：TAN Yong-wen,XIE Xue-bing,Jack,
来源：半导体光子学与技术：英文版 年份：2007
集中的离子横梁(小谎) milling Si3N4 薄电影的损坏性质被 nanoholes 的详细分析图象和蒙特卡罗的模拟调查。在为在各种各样的参数下面的二不同离子种(镓和砷) 的 Si3N4 薄电...
[期刊论文] 作者：TAN Yong-wen,XIE Xue-bing,Jack,
来源：半导体光子学与技术（英文版） 年份：2004
The damage properties of Focused Ion Beam(FIB) milling Si3N4 thin film are investigated by the detailed analyzing images of nanoholes and simulation of Monte Ca...
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