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[期刊论文] 作者：许素安,Luc Chassagne,Suat Topcu,Yasser Alayli,李东升,,
来源：中国计量学院学报 年份：2009
详细阐述了用于纳米定位的偏振激光干涉仪的原理,并介绍了基于该偏振仪的纳米定位控制方法.该方法已由实验论证,实验位移系统的最小步长实测值为5 nm.并对系统的最小位移步长...
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