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[期刊论文] 作者：Jingfei Yin,Qian Bai,Yinnan Li,
来源：纳米技术与精密工程(英文) 年份：2018
Single-crystal silicon is an important material in the semiconductor and optical industries.However,being hard and brittle,a silicon wafer is vulnerable to subs...
[期刊论文] 作者：Jingfei Yin,Qian Bai,Yinnan Li,Bi Zhang,
来源：纳米技术与精密工程 年份：
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