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[期刊论文] 作者：YongXia JerryLiu,
来源：电子工业专用设备 年份：2004
应用高速度、高点密度,覆盖全晶圆的薄膜检测仪得到的膜厚均匀图像来对CMP工艺进行快速评定.高点密度、全晶圆的膜厚均匀图像能即时显现出CMP工艺中的非对称性膜厚均匀问题并...
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