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[期刊论文] 作者:Z.L.Liau,张瑞华,,
来源:半导体情报 年份:1987
通过单片集成45°(抛物)镜面,将激光器的光输出偏转到与衬底表面垂直的方向,研制成一种掩埋的异质结构激光器。利用质量输运现象,用化学腐蚀修平多台阶结构制作了该镜面。这...
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