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[期刊论文] 作者：SUN Chang-Zheng(孙长征),ZHOU Jin-Bo(周进波),XIONG Bing(熊兵),WANG Jian(王健),LUO Yi(罗毅),
来源：中国物理快报（英文版） 年份：2003
We study the room-temperature dry, etching of InP by inductively coupled plasma (ICP) using Cl2/CH4/Ar mixtures. Etches were characterized in terms of anisotrop...
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