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研究了掺杂剂原子种类及快速热处理技术对大直径直拉硅单晶中空洞型微缺陷密度的影响．实验结果发现，掺入半径较大杂质原子的硅片，空洞......
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用Secco腐蚀液对直径150mmp型(100)直拉硅单晶片进行择优腐蚀后，得到了流动图形缺陷(FPDs)，并通过原子力显微镜(AFM)对其微观结构进......
随着集成电路的飞速发展,特征尺寸不断缩小,对硅材料质量提出了越来越高的要求,当衬底材料的缺陷尺寸为ULSI特征线宽的1/3以上时,......
