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单晶硅表面无掩膜极微细加工成形的研究

对单晶硅表面进行极微细加工中,直接用摩擦力显微镜机构(FFM)进行机械加工,然后用KOH溶液对加工基片腐蚀,发现被加工部位能形成凸......

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单晶硅掩膜极微细加工 FFM 腐烛摩擦力显微镜机构微电子技术 maskless ultramicroformation FFM etching

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