(111)择优取向相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

(111)择优取向相关论文

沉积温度对化学气相沉积法制备铜薄膜性质的影响

以双(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮)化铜(Cu(DPM)2)为前驱体,使用智能化学气相沉积设备在673 K至1173 K下于AlN多晶基板上制备Cu薄膜......

期刊

双(2 2 6 6-四甲基-3 5-庚二酮)化铜 Cu薄膜化学气相沉积沉积温度 (111)择优取向

射频磁控溅射法制备(111)取向Pt薄膜

以稀土元素Pr薄膜为缓冲层,采用低功率射频磁控溅射法在室温玻璃衬底上成功制备了(111)强烈取向的Pt薄膜,研究了退火热处理工艺对P......

期刊

PT PR 薄膜 (111)择优取向射频磁控溅射热处理工艺生长机制 Pt Pr film (111) orientation preference RF

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