(TiZr)N硬质膜相关论文
本文主要研究(TiZr)N硬质膜的沉积工艺波动范围及影响。考察了阴极靶电流、N_2气流量等工艺参数对膜层组织和性能的影响。研究表明......
(TiZr)N膜层的热震性能对于(TiZr)N膜在刀具上的应用至关重要,目前此类研究还非常有限。采用多弧离子镀技术制备不同Ti/Zr原子比的......
期刊
本试验采用多弧离子镀技术,选取Ti单质靶、Zr单质靶和Ti-Zr合金靶三种靶材,对其中的每两种靶材,即以Ti-Zr合金靶与Ti单质靶、Ti-Zr......
