α-SiC陶瓷衬底相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

α-SiC陶瓷衬底相关论文

电子辅助化学气相沉积法（EACVD）制备纳米金刚石薄膜及其光电性能的研究

本工作提出了采用正偏压,即EACVD方法,在α-SiC陶瓷和（100）Si晶片抛光衬底表面上沉积纳米金刚石薄膜。研究了气压、连续正偏压和正偏......

学位

纳米金刚石薄膜电子辅助化学气相沉积 α-SiC陶瓷衬底电学性能光学性能

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