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氧化钒薄膜作为锂离子微电池阴极膜的磁控溅射技术的制备
研究了用磁控溅射系统来制备氧化钒薄膜,通过优化工艺条件制备出可用作锂离子微电池阴极膜的非晶态五氧化二钒(α-V2O5)薄膜.并使......
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α-V2O5
阴极膜
射频磁控溅射
锂离子电池
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cathode film
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lithium micro-batte
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