β-硅化铁薄膜相关硕士博士期刊学术论文

β-硅化铁薄膜相关论文

文中采用磁控溅射Fe-Si合金靶和Si靶共镀加后续退火的方法在4H-SiC(0001)衬底上制备了β-FeSi2薄膜.主要研究了Si靶溅射时间对β-F......

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