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溅射时间对脉冲激光沉积制备β-FeSi2薄膜的影响
本文基于脉冲激光沉积(PLD)方法及热退火处理方式,利用输出波长为1064nm的Nd:YAG脉冲激光器在P型Si(100)衬底上生长了均匀的单相β-FeSi2......
期刊
脉冲激光沉积(PLD)
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PLD
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