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“容没”效应相关论文
集群磁流变效应抛光垫特性及其加工机理研究
随着光电子/微电子器件应用的日益广泛,对相关元件的质量提出了更高的要求需要在加工过程中最大限度地提高加工质量,其中对以单晶硅......
学位
集群磁流变效应
抛光垫
“容没”效应
抛光加工
抛光力
集群磁流变效应抛光垫的磨粒“容没”效应机理研究
针对集群磁流变抛光加工方法,研究了集群磁流变效应抛光垫对磨粒的"容没"机理。通过建立磨粒"容没"模型,并在磁流变抛光工作液中掺......
期刊
磁流变效应抛光垫
磨粒
“容没”效应
表面损伤
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