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Ⅲ-V族半导体材料相关论文
表面处理对n-GaN上无合金化Ti/Al欧姆接触的作用
本文研究了表面处理对n-GaN上无合金化的Ti/Al电极起的作用,比较了(NH4)2Sx和CH3CSNH2两种不同的表面处理方法.在用CH3CSHN2/NH4OH......
期刊
N-GAN
欧姆接触
表面处理
Ti/Al电极
Ⅲ-V族半导体材料
n-type GaN
Ohmic contact
Surface treatment
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